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大家知道影響層流罩的幾個因素嗎?

    信息來源:http://m.infinity-bloc.com/ 發(fā)布時間:2013/12/13 9:12:56 點擊數(shù): Tags: 過濾器產品

層流罩是由空調箱經風管與潔凈室內之空氣空氣過濾器進入潔凈室,并由潔凈室兩側隔間墻板或高架地板回風,氣流非直線型運動而呈不劃定禮貌之亂流或渦流狀況,此型式合用于潔凈室等級1,000-100,000級。

層流罩的優(yōu)點是什么呢?主要是其結構簡單、系統(tǒng)建造成本,潔凈室之擴展比較輕易,在某些非凡用處場合,可并用無塵工作臺,提高潔凈室等級。而且層流罩分為兩種形式,分別是:層流式、復合式。

[一]層流式:

層流式空氣氣流運動成一平均之直線形,空氣由袒護率100%之空氣過濾器進入室內,并由高架地板或兩側隔墻板回風,此型式合用于潔凈室等級需定較高之情況運用,通俗其潔凈室等級為Class1~100。其型式可分為二種:

(1)水平層流式:水平式空氣自空氣過濾器單傾向吹出,由對邊墻壁之回風系統(tǒng)回風,塵埃隨風向排出室外,通俗在輕賤側污染較嚴重,結構簡單,運轉后短時候內即可變成穩(wěn)定。

(2)垂直層流式:房間天花板完整以ULPA空氣過濾器袒護,空氣由上往下吹,可得較高之潔凈度,在制程中或工作人員所發(fā)生的塵埃可快速排出室外而不會影響其它工作區(qū)域。治理輕易,運轉劈頭短時候內即可達穩(wěn)定狀況,不易為功課狀況或功課人員所影響。

[二]復合式

復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用,可供應部分超潔凈之空氣。

(1)潔凈地道(CleanTunnel):以HEPA或ULPA空氣過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%袒護使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上,可儉省裝置運轉費用。此型式需將功課人員之工作區(qū)與產品和機械維修予以隔離,以避免機械維修時影響了工作及質量,ULSI制程大都采用此種型式。

(2)并裝部分潔凈室(CleanSpot):將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內之產品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上,認為消費之用;潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。

(3)潔凈管道(CleanTube):將產品流程經由的主動消費線圍困并凈化措置,將潔凈度等級提至100級以上。因產品和功課員及發(fā)塵情況相互隔離,少量之送風即可獲得優(yōu)越之潔凈度,可儉省能源,不需人工的主動化消費線為適合運用。藥品、食物業(yè)界及半導體業(yè)界均合用。

潔凈工作棚:為在亂流式之潔凈室空間內以防靜電之透明塑料布圍成一小空間,采用自力之HEPA或ULPA及空調送風機組而成為一較有經驗的之潔凈空間,其等級為10~1000級,高度在2.5米閣下,袒護面積約10m2以下,四支支柱并加裝運動輪,可為彈性運用。

一體化高效送風口可棄式一體化高效送風口是作為空調過濾系統(tǒng)的終端過濾設備,可棄式一體化高效送風口以150鋁型材或冷軋鋼板表面噴塑處理作箱體,可棄式一體化高效送風口內部集成密褶型無隔板高效濾芯, 出風面加護網,四周聚氨酯膠密封,可棄式一體化高效送風口外加鍍鋅板或鋁板后蓋帶風管連接法蘭而成,可棄式一體化高效送風口箱體外圍可根據客戶需要加貼保溫棉?蓷壥揭惑w化高效送風口它效率高、安裝方便,通風量大。高效送風口-無塵室專用凈化設備。

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