ULPA過濾器檢測(cè)方法介紹以及檢測(cè)誤差控制

信息來源：http://m.infinity-bloc.com/ 發(fā)布時(shí)間：2013/12/6 10:06:26 點(diǎn)擊數(shù)： Tags: 過濾器

ULPA過濾器全稱為超高效空氣過濾器，或稱超低穿透率空氣過濾器，對(duì)0.1~0.2μm的微粒、煙霧和微生物等塵埃粒子的過濾效率達(dá)到99.999%以上。ULPA超高效過濾網(wǎng)，ULPA是在HEPA的基礎(chǔ)上經(jīng)進(jìn)一步加強(qiáng)了HEPA的過濾效果,ULPA對(duì)0.3微米以上的微粒子的過濾效率達(dá)到99.9999%以上。ULPA與HEPA相比，濾料結(jié)構(gòu)更緊湊、過濾效率更高, 但同時(shí)， 阻力也更高。

[一]ULPA過濾器特點(diǎn)：

濾芯用超細(xì)玻璃纖維濾料經(jīng)打膠折疊而成，外框可選用夾層木板、鍍鋅銅板、不銹鋼板及鋁合金板，通過聚氨酯膠緊密粘接，具有質(zhì)量輕、透氣量大，集塵率高達(dá)99.95-99.999%，且耐堿，耐高溫。

[二]ULPA過濾器用途：

適用于10000級(jí)-100級(jí)潔凈系統(tǒng)，空調(diào)系統(tǒng)，因此產(chǎn)品已應(yīng)用于電子、微電子、半導(dǎo)體、光器件、生物和醫(yī)藥線路、照相機(jī)和光學(xué)儀器、精密機(jī)械等多個(gè)領(lǐng)域。

[三]ULPA過濾器測(cè)試方法及其特點(diǎn)：

1)粒子計(jì)數(shù)法

此法是以離散粒子計(jì)數(shù)器 (DPC) 作為檢測(cè)儀器，測(cè)試用氣溶膠可以是單分散或多分散液體或固體物質(zhì)，選擇范圍較寬，常用多分散氣溶膠，如 DOP 或其替代的 DOS 等液態(tài)物質(zhì)所發(fā)生的。此法靈敏度較高，目前主要用于 ULPA 過濾器其 η≥99.999 % (0.1-0.2μm) 的測(cè) 試，當(dāng)然亦可用于 HEPA 過濾器的測(cè)試。替代 DOP 法當(dāng)已是趨勢(shì)。

2)DOP法

此法是以光度計(jì)作檢測(cè)，測(cè)試用氣溶膠必須是單分散 (0.31μm) 的 DOP 或其替代的 DOS 等液態(tài)物質(zhì)所發(fā)生的。

3)鈉焰法。

此法采用火焰光度計(jì)，它對(duì) NaCl 燃燒的火焰色度 ( 相當(dāng)于 NaCl 的質(zhì)量 ) 作響應(yīng)， NaCl 質(zhì)量粒徑分布在 0.02-2μm 間或更狹一些。其質(zhì)量平均粒徑 (MMD) 在 0.5-0.6μm 間。此法靈敏度低，且 NaCl 對(duì)微電子工廠的產(chǎn)品質(zhì)量有害，因此國外早已不用。

4)MPPS法

過濾器測(cè)試時(shí)，需先測(cè)定濾料的 MPPS ：另外，其對(duì)過濾器效率的測(cè)試不是采用整體測(cè)試，而是掃描測(cè)試每一處的局部穿透率然后統(tǒng)計(jì)處理得出穿透率及效率。大允許局部穿透率比整體的高 5 倍或更多。

[四]ULPA過濾器誤差及控制

(1)氣溶膠濃度變化會(huì)影響測(cè)試結(jié)果，因此其濃度均勻及穩(wěn)定亦是必須保證的，常需通過混勻器及多點(diǎn)測(cè)試并調(diào)整進(jìn)行控制。

(2)流速，除粒徑外是影響過濾器效率的較重要的因素。因此必須使流速均勻并穩(wěn)定。常需通過測(cè)定并調(diào)整進(jìn)行控制。

(3)氣溶膠粒子在測(cè)試系統(tǒng)內(nèi)會(huì)沉積，會(huì)影響測(cè)試結(jié)果，需采用盡量短的管路并合理布置。

(4)在用冷發(fā)的氣溶膠時(shí)，氣溶膠在噴嘴內(nèi)進(jìn)行機(jī)械破碎時(shí)會(huì)帶靜電 ( 熱發(fā)時(shí)不存在 ) ，因此需要設(shè)中和器加以中和，以免粒子沉積。

(5)采用粒子計(jì)數(shù)器作檢測(cè)時(shí)，需注意避免重疊誤差需采用稀釋器及本底噪音值的控制并及時(shí)校正。

(6)管路內(nèi)壁由于氣流流動(dòng)時(shí)會(huì)積聚靜電，影響氣溶膠粒子沉積，因此需采用金屬管道并接地。

(7)粘度、壓降、溫濕度、振動(dòng)以及非等動(dòng)力采樣都會(huì)在一定條件下對(duì)測(cè)試產(chǎn)生影響，一般有的關(guān)系不大，有的易控制或在計(jì)算時(shí)加以修正。

ULPA過濾器在各個(gè)行業(yè)使用都非常，它適用于10000級(jí)-100級(jí)潔凈系統(tǒng)，空調(diào)系統(tǒng)，因此產(chǎn)品已應(yīng)用于電子、微電子、半導(dǎo)體、光器件、生物和醫(yī)藥線路、照相機(jī)和光學(xué)儀器、精密機(jī)械等多個(gè)領(lǐng)域。

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