半導(dǎo)體廠用空氣過(guò)濾器的要求十分苛刻
信息來(lái)源:http://m.infinity-bloc.com/ 發(fā)布時(shí)間:2013/11/20 9:26:13 點(diǎn)擊數(shù):
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空氣過(guò)濾設(shè)備
國(guó)內(nèi)正處于對(duì)新一輪芯片廠建設(shè)的狂熱中,因此,預(yù)計(jì)在未來(lái)幾年,將需要數(shù)億元的高效過(guò)濾器和精密過(guò)濾器。而半導(dǎo)體廠對(duì)于生產(chǎn)環(huán)境空氣的潔凈度是十分挑剔的,因此對(duì)于空氣過(guò)濾器的要求也是十分苛刻。
對(duì)于所有電子工業(yè)來(lái)說(shuō),它們大的敵人就是空氣中的海鹽粒子。如果空氣中的海鹽顆粒較大,那么普通的過(guò)濾器就能將其過(guò)濾掉,但是如果是顆粒較小的呢?又該怎么辦?有人說(shuō)經(jīng)營(yíng)電子工業(yè),首先就需要遠(yuǎn)離海岸,可沿海地區(qū)經(jīng)濟(jì)發(fā)達(dá),芯片廠一窩蜂似的就建在了沿海地區(qū),在過(guò)濾器上多花點(diǎn)錢就是了。
活性炭過(guò)濾器的過(guò)濾等級(jí)技術(shù)能夠?qū)崈羰业姆蹓m濃度降到近乎為零,想要多干凈就能多干凈,當(dāng)芯片上的線寬小到0.5mm時(shí),人們發(fā)現(xiàn)空氣中的化學(xué)污染物成了影響成品率的主要危害,于是,在線寬小于0.5mm的芯片廠空調(diào)系統(tǒng)中普遍配置了精密空氣過(guò)濾器。精密空氣過(guò)濾器的工作原理和制作過(guò)程并不復(fù)雜,它就是活性炭過(guò)濾器,但是傳統(tǒng)的活性炭過(guò)濾器制造廠并沒(méi)有運(yùn)用上這一優(yōu)勢(shì),芯片廠的活性炭過(guò)濾器大都是空調(diào)過(guò)濾器的制造廠家提供的。
在生活中,化學(xué)污染一般都來(lái)源于:室外的空氣、裝修材料、人等。但是在一般情況下,即使是設(shè)計(jì)師,也說(shuō)不出污染物的種類和濃度。因此,提供給他們的化學(xué)過(guò)濾器至少需要具備兩個(gè)特點(diǎn):一是具有廣譜吸附性能;二是有足夠多的活性炭材料。廣譜吸附性能就是對(duì)于什么都能有吸附性,而能有這種功能的都是普通、便宜的顆;钚蕴俊H绻艽_定污染物種類,就可以對(duì)活性炭材料進(jìn)行有針對(duì)性的化學(xué)處理,以增強(qiáng)對(duì)特定污染物的吸附能力。過(guò)濾器的供應(yīng)商有時(shí)還需要提供相應(yīng)的市場(chǎng)檢測(cè)服務(wù),來(lái)幫助用戶確定過(guò)濾器的使用情況,這就要求供應(yīng)商中有專門致力于研究化學(xué)過(guò)濾的專揀,并與名氣大的化學(xué)實(shí)驗(yàn)室有密切的關(guān)系。
半導(dǎo)體廠對(duì)于環(huán)境的潔凈度十分挑剔,但這并不意味著它就是的“無(wú)煙工業(yè)”,它也有環(huán)境的問(wèn)題。因?yàn)榻?jīng)常會(huì)使用的工藝和材料,因此很多化學(xué)物品其實(shí)在沒(méi)有評(píng)估安全性之前,其實(shí)就已經(jīng)開(kāi)始在大量的使用了,一不小心就會(huì)造成嚴(yán)重的化學(xué)污染,既有地下水污染,也有空氣污染。
空氣過(guò)濾器不光在醫(yī)藥行業(yè)被的應(yīng)用,它同時(shí)也在電子行業(yè)被的應(yīng)用,就像半導(dǎo)體廠一樣。既會(huì)有地下水污染,也會(huì)存在空氣污染,所以空氣過(guò)濾器就是必不可少的了。